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詳細介紹
壓電·三軸并聯 Free3D.ZTxTy.150
? 3自由度并聯設計，空間中ZTT移動
• 由納米級驅動單元實現的三自由度并聯結構，有效降低累積誤差；
• 多軸姿態同時調節、結構穩定、剛性高；
• 平動行程：Z ±5 mm；
• 主體材料：鋁合金；
• 角擺行程：ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °；
• 最大垂直負載：3 kg；
• 單向重復定位精度Z：±0.15 μm；
• 單向重復定位精度ΘX, ΘY：±2.5 μrad, ±2.5 μrad；
• 最小位移Z：25 nm；
• 最小位移ΘX, ΘY：7.5 μrad, 7.5 μrad；
• 速度：1 mm/s - 10 mm/s；
• 重量：1.5 kg；
• 可提供真空環境規格；
• 集成傳感器：光學編碼器；
• 位置傳感分辨率：2 nm；
• 控制軟件：提供PC端使用軟件;
• 控制器通道：3通道輸出控制;
• 控制方式：根據用戶輸入的位移指令，實現對位移臺三軸空間姿態的運動調節；各驅動單元模塊通過光柵位置反饋實現閉環控制；通過專用軟件，實現對三軸并聯運動的解算，分配到各驅動單元模塊，實現三軸空間姿態的同時調節
壓電三軸并聯位移臺，三自由度，ZTT移動——詳細參數：
壓電三軸并聯位移臺，三自由度，ZTT移動——尺寸圖：
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